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黑洞光刻机公司。
蒲伟才需要卫明帮忙加工的零件,主要跟光学镜头相关。
尤其是涂在光学镜头表面的那层反光膜材料,要求纯度达到8个九以上。
但国内相关的材料公司,只能做到4个九的纯度,还差四个量级。
为提高反光效率,卫明只能利用黑吸收杂质,提纯材料,使其纯度无限接近100。
但这样慢工出细活,一个一个的消除杂质分子,一也提纯不了多少。
后面科学家想到了一个巧妙办法,那就是把反光膜材料,溶于某种有机溶液中,大部分杂质则不能溶解,于是就把杂质析了出来,再加热特殊有机溶液,析出纯度更高的反光膜材料。
如此反复操作几次,反光膜材料的纯度,能提高11个九以上,要比国外材料还高出三个量级——这便是暴龙euv的能量利用率,为什么能高出三倍还多的原因。
不过特殊有机溶液经过多次的使用之后,其本身纯度会有所下降,进而影响反光膜材料的纯度,必须对特殊有机溶液进行提纯操作。
这就需要制作一种特殊的分子筛,孔径极,只允许有机溶液分子通过,其它分子一个都通过不了,纯度甚至达到理论层面的100。
故而要想解决掉反光膜纯度问题,卫明得制作一批有机溶液分子筛,利用黑钻出一个个孔。
由于分子筛孔的直径刚好在1纳米左右,以前卫明需要精准操控,一顶多打下100亿个孔。
但现在视界的范围刚好为1纳米,只要关闭引力半径,再闭着眼的疯狂打孔即可,短短十分钟便打下了1万亿个孔。
效率提升了万倍不止。
仅仅两个时,他就制造出了足够使用的分子筛。
高精尖领域做的很多事情其实就是如此。
需要数百种接近100纯度的化学材料。
需要数万个误差接近0的零件。
需要表面无限贴近某个数学公式的镜片曲率变化规律。
甚至冷却光刻机所用的水,也必须是没有任何杂质的100纯水,让光刻机的冷却性能,保持线性稳定,不受杂质影响。
以及某些子系统的工作环境,最好是没有一个空气分子存在的绝对真空……正好,能够吞噬一切的黑,可以创造出最接近真空的环境。
光源系统要用到的金属锡滴,也得保证它的纯度是100,这样就可以减少杂光的产生。
利用真空容器离心法,卫明帮忙弄到了100公斤的高纯度锡……这足够满足二十台光刻机的需求。
忙活了一整。
解决掉所有积压问题后。
时间已是晚上8点多。
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